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 Broadband Characterization of Thin Dielectrics Using Heterolayer and Monolayer MIM Capacitors 异质层和单层MIM电容器对薄电介质的宽带表征
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期刊：IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 作者：Yunsang Shin; Seung‐Geol Nam; Jinseong Heo; Sangwook Nam 出版日期：2022-01-01 |
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