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标题
Formulation analysis and follow-up study of multi-turn configuration for performance enhancement of MEMS piezoresistive pressure sensor utilized for low-pressure measurement applications
相关领域
压阻效应 微电子机械系统 压力传感器 材料科学 性能增强 电子工程 纳米技术 机械工程 声学 光电子学 工程类 物理 医学 物理医学与康复
网址
DOI
10.1108/sr-02-2024-0115 doi
其它 期刊:Sensor Review
作者:Dadasikandar Kanekal; Eshan Sabhapandit; Sumit Kumar Jindal; Hemprasad Yashwant Patil
出版日期:2024-05-20
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