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 Importance of crystallinity improvement in MoS2 film by compound sputtering even followed by post sulfurization 相关领域
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Shinya Imai; Takuya Hamada; Masaya Hamada; Takanori Shirokura; Iriya Muneta; et al 出版日期：2021-01-18 |
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