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 Effects of coil structure and electromagnetic shielding on plasma distribution and uniformity in large-area radio-frequency inductively coupled plasmas 相关领域
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期刊：Chinese Physics B 作者：Cheng 程 Xin 辛; Xiang-Yun 翔云 Lyu 吕; Si-Yu 思雨 Xing 邢; Yu-Ru 钰如 Zhang 张; Tao 涛 Liu 刘; et al 出版日期：2026-02-01 |
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