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标题
Enhancement in wafer bow of free-standing GaN substrates due to high-dose hydrogen implantation: implications for GaN layer transfer applications
网址
DOI
10.1088/0268-1242/22/4/022 doi
其它 期刊:Semiconductor Science and Technology
作者:R Singh; I Radu; G Bruederl; C Eichler; V Haerle; et al
出版日期:2007-03-19
求助人
小谷 在 2026-07-30 13:11:37 发布自山东,悬赏 10 积分
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