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标题
Adsorption-controlled neutral transport in cryogenic high aspect ratio plasma etching
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00052...
DOI
10.1116/6.0005272 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Junghwan Um; Sunil Moon; Y. Park; S. Son; Sungil Cho
出版日期：2026-04-03
求助人
Joyezhou 在 2026-08-15 14:22:43 发布自广东，悬赏 30 积分
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  • 11天前，求助关闭

    Joyezhou Joyezhou Lv4 求助人 关闭了本次求助。

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  • 12天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    14:22:48 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    14:22:44 科研通AI机器人（英国 伦敦）收到请求，开始寻找文献
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  • 12天前

    Joyezhou Joyezhou Lv4 求助人 发起了本次求助

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