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标题
Reaction Mechanisms in Copper Atomic Layer Deposition Using Copper(II) Hexafluoroacetylacetonate and Diethylzinc via In Situ Time-of-Flight Mass Spectrometry
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DOI
10.1021/acs.chemmater.5c01521 doi
其它 期刊:Chemistry of Materials
作者:Camilla Minzoni; Sylwia Klejna; Krzysztof Mackosz; Caroline Hain; Aleksandra Figura-Jagoda; et al
出版日期:2025-09-11
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Harbing 在 2026-07-24 00:48:27 发布自美国,悬赏 10 积分
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