The unique properties of SiCN as bonding material for hybrid bonding

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标题	The unique properties of SiCN as bonding material for hybrid bonding
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9598345/9598191/09598192...
DOI	10.1109/ltb-3d53950.2021.9598192 doi
其它	期刊：2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D) 作者：Serena Iacovo; Soon-Wook Kim; Fuya Nagano; Lan Peng; Fumihiro Inoue; et al 出版日期：2021-11-10
求助人	石本松在 2026-03-13 16:32:50 发布自河北，悬赏 10 积分
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