Highly repetitive, extreme-ultraviolet radiation source based on a gas-discharge plasma

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标题	Highly repetitive, extreme-ultraviolet radiation source based on a gas-discharge plasma
网址	https://doi.org/10.1364/AO.38.005413
DOI	10.1364/AO.38.005413 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Klaus Bergmann; Guido Schriever; Oliver Rosier; Martin Müller; Willi Neff; Rainer Lebert 出版日期：1999
求助人	daoketuo 在 2026-06-08 20:04:43 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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