Preparation of Diamond-Like carbon Films in methane by Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma Source Ion Implantation

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标题	Preparation of Diamond-Like carbon Films in methane by Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma Source Ion Implantation
网址	https://doi.org/10.1088/0256-307x/20/5/329
DOI	10.1088/0256-307x/20/5/329 doi
其它	期刊：Chinese Physics Letters 作者：Li Xin; Tang Zhen-An; Ma Guo-Ja; Wu Zhi-Meng; Deng Xin-Lu 出版日期：2003-04-25
求助人	十一在 2026-04-13 23:50:04 发布自贵州，悬赏 10 积分
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