Thickness-dependent phase evolution and dielectric property of Hf0.5Zr0.5O2 thin films prepared with aqueous precursor

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标题	Thickness-dependent phase evolution and dielectric property of Hf0.5Zr0.5O2 thin films prepared with aqueous precursor
网址	http://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s10971-015-3871...
DOI	10.1007/s10971-015-3871-5 doi
其它	期刊：Journal of Sol-Gel Science and Technology 作者：Yong Yan; Dayu Zhou; Chunxia Guo; Jin Xu; Xirui Yang; et al 出版日期：2015-10-01
求助人	gk 在 2026-03-22 19:56:16 发布自江苏，悬赏 10 积分
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