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Ion bombardment effect on properties of MoO thin film under different PEALD plasma exposure time
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DOI
10.1016/j.vacuum.2022.111025 doi
其它 期刊:Vacuum
作者:Chun-Hui Bao; Chen Wang; Ming-Jie Zhao; Wan-Yu Wu; Chia‐Hsun Hsu; et al
出版日期:2022-03-15
求助人
崽崽 在 2026-01-07 07:47:34 发布自江西,悬赏 10 积分
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