Ion bombardment effect on properties of MoO thin film under different PEALD plasma exposure time

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标题	Ion bombardment effect on properties of MoO thin film under different PEALD plasma exposure time 相关领域氧化剂等离子体薄膜离子沉积（地质）原子层沉积氧气材料科学钼分析化学（期刊）化学无机化学纳米技术环境化学物理古生物学有机化学生物量子力学沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111025
DOI	10.1016/j.vacuum.2022.111025 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Chun-Hui Bao; Chen Wang; Ming-Jie Zhao; Wan-Yu Wu; Chia‐Hsun Hsu; et al 出版日期：2022-03-15
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