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 High-efficiency Si3N4 grating couplers with hybrid Al2O3/metal-mirror structure for back-reflection suppression 抑制背反射的Al2O3/金属镜混合结构高效Si3N4光栅耦合器
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期刊：Optical Engineering 作者：Boxin He; Minming Geng; Rui Cen; Fang‐I Lai; Mo Yuan; et al 出版日期：2025-11-06 |
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