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 Simulation, development, and optical emission spectroscopy of microwave plasma chemical vapor deposition reactor for synthesis of large-area single crystal diamond 用于合成大面积单晶金刚石的微波等离子体化学气相沉积反应器的模拟、开发和光学发射光谱
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期刊：Next Materials 作者：Vivek K. Shukla; Umesh Palnitkar; H. K. Poswal; Brajesh S. Yadav; Sandeep Dalal; et al 出版日期：2025-06-09 |
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