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 Intrinsic and atomic layer etching enhanced area-selective atomic layer deposition of molybdenum disulfide thin films 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Jake Soares; Wesley Jen; John D. Hues; Drew Lysne; Jesse Wensel; et al 出版日期：2023-08-30 |
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