Piezoelectric and structural properties of c-axis textured aluminium scandium nitride thin films up to high scandium content

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标题	Piezoelectric and structural properties of c-axis textured aluminium scandium nitride thin films up to high scandium content 高钪含量c轴织构氮化钪铝薄膜的压电和结构性能相关领域材料科学薄膜钪纤锌矿晶体结构氮化铝纹理（宇宙学）压电系数微观结构氮化物复合材料压电溅射铝分析化学（期刊）冶金纳米技术化学人工智能锌色谱法图层（电子）计算机科学图像（数学）
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.01.046 AI链接 epfl.chdoi.org
DOI	10.1016/j.surfcoat.2018.01.046 doi
其它	期刊：Surface & Coatings Technology 作者：Stefan Mertin; Bernd Heinz; Oliver Rattunde; Gabriel Christmann; M.-A. Dubois; et al 出版日期：2018-01-31
求助人	yinghan 在 2025-12-07 16:11:52 发布自广东，悬赏 10 积分
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