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Piezoelectric and structural properties of c-axis textured aluminium scandium nitride thin films up to high scandium content

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作者
Stefan Mertin,Bernd Heinz,Oliver Rattunde,Gabriel Christmann,M.-A. Dubois,Sylvain Nicolay,Paul Muralt
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2018-01-31 卷期号：343: 2-6 被引量：98
链接
epfl.chdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2018.01.046
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