Intrinsic stresses in AlN layers grown by metal organic chemical vapor deposition on (0001) sapphire and (111) Si substrates

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标题	Intrinsic stresses in AlN layers grown by metal organic chemical vapor deposition on (0001) sapphire and (111) Si substrates
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/96/5/2995/18713433/...
DOI	10.1063/1.1777812 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Srinivasan Raghavan; Joan M. Redwing 出版日期：2004-09-03
求助人	默默的素阴在 2026-01-28 21:29:52 发布自山东，悬赏 10 积分
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