Preparation of AlN films and nc-AlN/a-SiNx nanocomposite films by medium frequency magnetron sputtering

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标题	Preparation of AlN films and nc-AlN/a-SiNx nanocomposite films by medium frequency magnetron sputtering 中频磁控溅射制备AlN薄膜和nc-AlN/a-SiNx纳米复合薄膜
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	作者和期刊信息：Li M K, Fan X J, Li C B, et al. Journal of the Korean Physical Society, 2005: 83-87.
求助人	uss 在 2025-12-20 21:00:34 发布自俄罗斯，悬赏 10 积分
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