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 Functionalized Ag Nanoparticles Embedded in Polymer Resists for High-Resolution Lithography 用于高分辨率光刻的嵌入聚合物抗蚀剂中的功能化银纳米粒子
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期刊：ACS Applied Nano Materials 作者：Mohamad G. Moinuddin; Rudra Kumar; Midathala Yogesh; Shivani Sharma; Manoj Sahani; et al 出版日期：2020-08-04 |
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