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Understanding surface morphology evolution in magnetron sputtered AlN templates: mitigating tensile stress and enhancing crystal quality
了解磁控溅射AlN模板的表面形貌演变：减轻拉伸应力和提高晶体质量
相关领域
材料科学 模板 Crystal（编程语言） 质量（理念） 腔磁控管 形态学（生物学） 压力（语言学） 极限抗拉强度 溅射沉积 纳米技术 冶金 复合材料 溅射 薄膜 计算机科学 地质学 古生物学 哲学 语言学 认识论 程序设计语言
网址
https://doi.org/10.1039/d5ce00027k
DOI
10.1039/d5ce00027k doi
其它 期刊：CrystEngComm
作者：Li Jiang; Jianwei Ben; Ke Jiang; Shanli Zhang; Tong Wu; et al
出版日期：2025-01-01
求助人
LPPQBB 在 2025-11-29 07:30:06 发布自江苏，悬赏 10 积分
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