标题 |
Enabling Low-k Liner in Ultra-high Aspect Ratio TSVs by the Timing of Vacuum Treatment in the Vacuum-assisted Spin-coating Technique
利用真空辅助旋涂技术中的真空处理定时实现超高长宽比TSV中的低k衬板
相关领域
涂层
材料科学
超高真空
光电子学
自旋(空气动力学)
纳米技术
旋涂
工程物理
机械工程
物理
工程类
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DOI | |
其它 |
期刊: 作者:Ziyue Zhang; Zhiming Chen; Bo Yang; Yigang Hao; Yuwen Su; et al 出版日期:2023-08-08 |
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