Combining plasma profiling TOFMS with TOF-SIMS depth profiling for microelectronic applications

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标题	Combining plasma profiling TOFMS with TOF-SIMS depth profiling for microelectronic applications
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.4943513
DOI	10.1116/1.4943513 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena 作者：Agnès Tempez; Sébastien Legendre; Jean-Paul Barnes; Emmanuel Nolot 出版日期：2016-03-09
求助人	嘻嘻在 2026-10-20 11:14:29 发布自福建，悬赏 10 积分
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