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 Generic E-Beam Compensatory Carbon Deposition Method for High Aspect Ratio (HAR) TEM Sample Preparation 相关领域
材料科学
纵横比（航空）
沉积（地质）
碳纤维
聚焦离子束
样品制备
离子束辅助沉积
板层（表面解剖学）
透射电子显微镜
过程（计算）
示意图
样品（材料）
梁（结构）
复合材料
蚀刻（微加工）
纳米技术
弯曲
高碳
形态学（生物学）
化学气相沉积
制作
离子束
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期刊：International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits 作者：Chunxiao Liu; Bing-Xin Wu; Lei Wei; Tim Johnson; Smith Gao 出版日期：2025-08-05 |
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(2025-6-4)
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