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Determination of pore size distribution in thin films by ellipsometric porosimetry 相关领域
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者:M. R. Baklanov; K. P. Mogilnikov; V. G. Polovinkin; F. N. Dultsev 出版日期:2002-07-27 |
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