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标题
Molecular dynamics simulation of oxide-nitride bilayer etching with energetic fluorocarbon ions
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00021...
DOI
10.1116/6.0002182 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Charisse Marie D. Cagomoc; Michiro Isobe; Eric A. Hudson; Satoshi Hamaguchi
出版日期：2022-11-03
求助人
YYEZ1 在 2026-11-03 12:47:09 发布自江苏，悬赏 10 积分
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