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 Structural and mechanical characterization of in-situ phosphorus-doped rapid transport low pressure chemical vapor deposition polycrystalline silicon films 相关领域
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期刊：Microelectronics Journal 作者：S. Kallel; B. Semmache; M. Lemiti; H. Jaffrezic; A. Laugier 出版日期：1999-07-01 |
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