| 标题 |
 Detecting 20 nm Wide Defects in Large Area Nanopatterns Using Optical Interferometric Microscopy 相关领域
材料科学
干涉测量
光学
激光器
显微镜
斑点图案
薄脆饼
光电子学
散斑成像
噪音（视频）
衍射
纳米尺度
纳米技术
物理
计算机科学
人工智能
图像（数学）
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期刊：Nano Letters 作者：Renjie Zhou; Chris Edwards; Amir Arbabi; Gabriel Popescu; Lynford L. Goddard 出版日期：2013-07-30 |
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