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标题
Synthesis of Fluorinated Materials for 193-nm Immersion Lithography and 157-nm Lithography
网址
https://doi.org/10.2494/photopolymer.18.631
DOI
10.2494/photopolymer.18.631 doi
其它 期刊：Journal of Photopolymer Science and Technology
作者：T. Yamashita; T. Ishikawa; T. Yoshida; T. Hayama; T. Araki; et al
出版日期：2005
求助人
lbc 在 2026-04-21 17:17:54 发布自山东，悬赏 10 积分
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  • 2个月前，求助关闭

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  • 2个月前

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