Study of Cl2/Ar transient plasmas using a dynamic global model

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标题	Study of Cl2/Ar transient plasmas using a dynamic global model
网址	http://dx.doi.org/10.1116/6.0004464
DOI	10.1116/6.0004464 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：T. Rasoanarivo; C. Mannequin; F. Roqueta; M. Boufnichel; A. Rhallabi 出版日期：2025-05-01
求助人	归尘在 2026-06-28 14:18:24 发布自安徽，悬赏 10 积分
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