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标题
Mass spectrometric studies of plasma etching of silicon nitride
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.582949
DOI
10.1116/1.582949 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
作者：P. E. Clarke; D. Field; A. J. Hydes; D. F. Klemperer; M. J. Seakins
出版日期：1985-11-01
求助人
你在看什么28 在 2026-08-20 14:58:04 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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