Design and Fabrication of a Piezoelectric Bimorph Microphone with High Reliability and Dynamic Range Based on Al0.8Sc0.2N - 科研通

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标题	Design and Fabrication of a Piezoelectric Bimorph Microphone with High Reliability and Dynamic Range Based on Al0.8Sc0.2N
网址	http://dx.doi.org/10.3390/mi16020186
DOI	10.3390/mi16020186 doi
其它	期刊：Micromachines 作者：Ruixiang Yan; Yucheng Ji; Anyuan Liu; Lei Wang; Songsong Zhang 出版日期：2025-02-04
求助人	刘冲在 2026-07-31 17:15:02 发布自广东，悬赏 10 积分
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