Epitaxial growth of highly stacked SiGe(:B)/Si multilayers without strain relaxation for vertically stacked device applications

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标题	Epitaxial growth of highly stacked SiGe(:B)/Si multilayers without strain relaxation for vertically stacked device applications
网址	https://doi.org/10.1016/j.mattod.2025.12.030
DOI	10.1016/j.mattod.2025.12.030 doi
其它	期刊：Materials Today 作者：Dongmin Yoon; Seonwoong Jung; Hyerin Shin; Seokmin Oh; Jungwoo Kim; et al 出版日期：2025-12-30
求助人	As故在 2026-08-30 23:40:51 发布自山西，悬赏 10 积分
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