Process control case-studies for high-volume manufacturing of silicon photonics for co-packaged optics applications

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标题	Process control case-studies for high-volume manufacturing of silicon photonics for co-packaged optics applications
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3077953
DOI	10.1117/12.3077953 doi
其它	期刊：Silicon Photonics XXI 作者：John C. Robinson; Daniele Capelli; Shankar Krishnan 出版日期：2026-03-04
求助人	@A 在 2026-09-10 17:25:03 发布自湖北，悬赏 20 积分
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