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 The Optimization of the Gate Polysilicon Deposition Process for Power MOSFETs 相关领域
功率MOSFET
材料科学
沉积（地质）
MOSFET
过程（计算）
工程物理
多晶硅耗尽效应
光电子学
电气工程
电子工程
计算机科学
栅氧化层
电压
工程类
晶体管
地质学
操作系统
沉积物
古生物学
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期刊：2025 Conference of Science and Technology of Integrated Circuits (CSTIC) 作者：Jiao Xuelu; Shen Shichao; Cheng Yongpeng; Yang Bo; Liu Yongkun; et al 出版日期：2025-03-24 |
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