Diffusion in AZ-5214 image reversal process and its application to e-beam proximity effect correction

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标题	Diffusion in AZ-5214 image reversal process and its application to e-beam proximity effect correction
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/0167931787...
DOI	10.1016/0167-9317(87)90071-2 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Hua-yu Liu; E.D. Liu 出版日期：2002-10-17
求助人	深夜在 2026-09-10 21:01:14 发布自北京，悬赏 10 积分
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