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  Atomic-scale study on the dopant distribution in phosphorus and boron-doped Si nanocrystals/SiO2 multilayers 磷硼掺杂Si纳米晶/SiO2多层中掺杂剂分布的原子尺度研究
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期刊：Applied Surface Science 作者：Dongke Li; Jiaming Chen; Zhaoguo Xue; Teng Sun; Junnan Han; et al 出版日期：2022-10-13 |
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