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 Effect of atomic-layer-deposition sequence on the composition of indium-zinc-tin oxide thin films and its effect on thin-film transistor characteristics 原子层沉积顺序对铟锌锡氧化物薄膜成分的影响及其对薄膜晶体管特性的影响
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期刊：Thin Solid Films 作者：Ye-Sul Jeong; Chang-Yun Na; Sungmin Cho 出版日期：2025-06-07 |
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