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Simultaneous 3D measurement for infrared chips with speckle interferometry 红外芯片的散斑干涉三维同时测量
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期刊:Optics and Laser Technology 作者:Yimin Ye; Xiaodong Li; Yan Xu; Li Ding; Zhilong Su; et al 出版日期:2022-09-01 |
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