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 Investigation of N-polar GaN-diamond heterogeneous integration enabled by in-situ sputtered aluminum nitride interlayer 相关领域
材料科学
光电子学
氮化物
异质结
界面热阻
无定形固体
氮化镓
氮化铝
钻石
铝
热导率
热的
热阻
复合材料
硅
宽禁带半导体
基质（水族馆）
氮化硅
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溅射
化学气相沉积
无线电频率
图层（电子）
热传递
电子工程
复合数
热传导
压力（语言学）
直接结合
晶片键合
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