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标题
Utilizing size effect to enhance the corrosion inhibition performance of carboxylic acids for Cu CMP
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.164609 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Yuang Kuang; Pengfei Chang; Tao Hang; Ming Li; Anmin Hu
出版日期:2026-01-01
求助人
LHX510 在 2026-06-28 15:36:41 发布自湖北,悬赏 10 积分
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