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 An X-ray diffraction study of the amorphous structure of chemically vapor-deposited silicon nitride 相关领域
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期刊：Journal of Non-Crystalline Solids 作者：Tetsuji Aiyama; Takuro Fukunaga; Koichi Niihara; T. Hirai; Kenji Suzuki 出版日期：1979-06-01 |
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