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An X-ray diffraction study of the amorphous structure of chemically vapor-deposited silicon nitride

材料科学无定形固体氮化硅衍射化学气相沉积氮化物多形性非晶硅硅纳米晶硅结晶学辐照分析化学（期刊）晶体硅光学纳米技术化学光电子学物理有机化学核物理学图层（电子）

作者

Tetsuji Aiyama,Takuro Fukunaga,Koichi Niihara,T. Hirai,Kenji Suzuki

出处

期刊：Journal of Non-crystalline Solids [Elsevier BV]
日期：1979-06-01 卷期号：33 (2): 131-139 被引量：103

标识

DOI：10.1016/0022-3093(79)90043-7

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