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标题
Nanoscale wafer patterning using SPM induced local anodic oxidation in InP substrates
InP衬底中SPM诱导局部阳极氧化的纳米级晶片图案化
相关领域
薄脆饼 制作 材料科学 纳米尺度 氧化物 原子力显微镜 光电子学 纳米技术 半导体 半径 阳极氧化 阳极 化学 电极 冶金 医学 替代医学 计算机安全 病理 物理化学 计算机科学
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6641/ac3f20
AI链接 ac.ukdoi.org
DOI
10.1088/1361-6641/ac3f20 doi
其它 期刊：Semiconductor Science and Technology
作者：Charlotte Ovenden; I. Farrer; M. S. Skolnick; J. Heffernan
出版日期：2021-12-01
求助人
英姑 在 2025-08-26 04:06:53 发布，悬赏 10 积分
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