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  Nanoscale wafer patterning using SPM induced local anodic oxidation in InP substrates InP衬底中SPM诱导局部阳极氧化的纳米级晶片图案化
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期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Charlotte Ovenden; I. Farrer; M. S. Skolnick; J. Heffernan 出版日期：2021-12-01 |
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