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 Approaches for 3D Integration Using Plasma‐Enhanced Atomic‐Layer‐Deposited Atomically‐Ordered InGaZnO Transistors with Ultra‐High Mobility 相关领域
材料科学
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期刊：Small methods 作者：Yoon‐Seo Kim; Hye‐Jin Oh; Junghwan Kim; Jun Hyung Lim; Jin‐Seong Park 出版日期：2023-06-28 |
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