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  Effects of Residual Stress Distribution on Interfacial Adhesion of Magnetron Sputtered AlN and AlN/Al Nanostructured Coatings on a (100) Silicon Substrate 相关领域
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期刊：Nanomaterials 作者：Rashid Ali; Marco Renzelli; M. Imran Khan; Marco Sebastiani; Edoardo Bemporad 出版日期：2018-11-01 |
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