Effects of Residual Stress Distribution on Interfacial Adhesion of Magnetron Sputtered AlN and AlN/Al Nanostructured Coatings on a (100) Silicon Substrate - 科研通

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标题	Effects of Residual Stress Distribution on Interfacial Adhesion of Magnetron Sputtered AlN and AlN/Al Nanostructured Coatings on a (100) Silicon Substrate 相关领域材料科学残余应力基质（水族馆）复合材料纳米压痕硅图层（电子）涂层溅射沉积压力（语言学）薄膜冶金纳米技术溅射哲学地质学海洋学语言学
网址	https://www.mdpi.com/2079-4991/8/11/896/pdf?version=15410699...
DOI	10.3390/nano8110896 doi
其它	期刊：Nanomaterials 作者：Rashid Ali; Marco Renzelli; M. Imran Khan; Marco Sebastiani; Edoardo Bemporad 出版日期：2018-11-01
求助人	贪玩翎在 2025-11-14 15:45:07 发布自天津，悬赏 10 积分
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