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 Integration of freestanding hafnium zirconium oxide membranes into two-dimensional transistors as a high-κ ferroelectric dielectric 作为高κ铁电电介质的独立铪锆氧化物膜在二维晶体管中的集成
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期刊：Nature electronics 作者：Che-Yi Lin; Bo-Cia Chen; Yuchen Liu; Shang-Fu Kuo; Hsien-Chi Tsai; et al 出版日期：2025-06-26 |
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