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Integration of freestanding hafnium zirconium oxide membranes into two-dimensional transistors as a high-κ ferroelectric dielectric

铪 材料科学 锆 铁电性 电介质 晶体管 膜 光电子学 氧化锆 氧化物 工程物理 电气工程 冶金 工程类 化学 电压 生物化学
作者
Che-Yi Lin,Bo-Cia Chen,Yuchen Liu,Shang-Fu Kuo,Hsien-Chi Tsai,Yuan‐Ming Chang,Chang‐Yang Kuo,C. F. Chang,Jyun‐Hong Chen,Ying‐Hao Chu,Mahito Yamamoto,Chang‐Hong Shen,Yu‐Lun Chueh,Po‐Wen Chiu,Yi‐Chun Chen,Jan‐Chi Yang,Yen‐Fu Lin
出处
期刊：Nature electronics [Springer Nature]
日期：2025-06-26 被引量：4
标识
DOI：10.1038/s41928-025-01398-y
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