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标题
A Mechanics-Based Predictive Model for Scratching Defects and its Application for Pad Selection in Chemical Mechanical Polishing
基于力学的划痕缺陷预测模型及其在化学机械抛光垫选择中的应用
相关领域
刮伤 化学机械平面化 抛光 材料科学 选择（遗传算法） 机械工程 复合材料 机械 计算机科学 工程类 人工智能 物理
网址
https://doi.org/10.1016/j.triboint.2025.110934
DOI
10.1016/j.triboint.2025.110934 doi
其它 期刊：Tribology International
作者：Hyeongmin Je; Dong Geun Kim; Seounghee Yun; Somin Shin; Haesung A. Lee; et al
出版日期：2025-06-01
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黄雨果 在 2025-08-04 11:13:41 发布自广东，悬赏 10 积分
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