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 A Mechanics-Based Predictive Model for Scratching Defects and its Application for Pad Selection in Chemical Mechanical Polishing 基于力学的划痕缺陷预测模型及其在化学机械抛光垫选择中的应用
相关领域
刮伤
化学机械平面化
抛光
材料科学
选择（遗传算法）
机械工程
复合材料
机械
计算机科学
工程类
人工智能
物理
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期刊：Tribology International 作者：Hyeongmin Je; Dong Geun Kim; Seounghee Yun; Somin Shin; Haesung A. Lee; et al 出版日期：2025-06-01 |
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