An investigation of aluminum nitride thin films patterned by femtosecond laser

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标题	An investigation of aluminum nitride thin films patterned by femtosecond laser 飞秒激光沉积氮化铝薄膜的研究相关领域材料科学飞秒蓝宝石薄膜扫描电子显微镜光电子学激光器化学气相沉积拉曼光谱拉曼显微镜蚀刻（微加工）显微镜透射电子显微镜光学纳米技术复合材料拉曼散射物理图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1063/5.0005183
DOI	10.1063/5.0005183 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Fang Dong; Rui Li; Gai Wu; Kang Liang; Guoliang Li; et al 出版日期：2020-04-13
求助人	水牛在 2025-11-09 10:45:57 发布自广东，悬赏 10 积分
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